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HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度HEIDENHAIN海德漢特殊的生產(chǎn)設施和測量設備造就了海德漢的高質(zhì)量產(chǎn)品。光刻的主要和次主要生產(chǎn)過程都是在潔凈室里完成的，在潔凈室里配備了特殊的溫度穩(wěn)定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產(chǎn)直線和角度刻線用的機械設備都是由海德漢自己研發(fā)和制造的。
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢特殊的生產(chǎn)設施和測量設備造就了海德漢的高質(zhì)量產(chǎn)品。光刻的主要和次主要生產(chǎn)過程都是在潔凈室里完成的，在潔凈室里配備了特殊的溫度穩(wěn)定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產(chǎn)直線和角度刻線用的機械設備都是由海德漢自己研發(fā)和制造的。
HEIDENHAIN海德漢封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的理想選擇。
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應用包括：測量機、比較儀和其它長度計量精密設備以及生產(chǎn)和測量設備，例如用在半導體工業(yè)中。
增量式光柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點，開機時必須執(zhí)行參考點回零，操作非常簡單、快捷。
式光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當前位置值。光柵尺的位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。
敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統(tǒng)。
典型應用包括：
半導體業(yè)的測量和生產(chǎn)設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設備
直驅(qū)電機
HEIDENHAIN海德漢光柵尺規(guī)格 |
LC 195 S |
LC 195 S |
LC 195 F |
LC 195 M |
測量標準 線膨脹系數(shù) | 帶軌道和增量軌道的Diadur玻璃秤，光柵周期20微米 αtherm？8 x 10–6 k–1 | |||
精度等級* | 測量長度為±3微米至3040毫米；±5微米 | |||
測量長度ml*in mm | 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 | |||
功能安全 適用于以下應用程序 |
| – | ||
PFH | 25 x 10–9; ML > 3040 mm: 40 x 10–9 (海拔高達1000米) | – | ||
安全位置1) | 編碼器：±550μm；ml>3040 m m：±2050μm （安全相關測量步驟sm=220μm） | – | ||
機械連接：外殼和掃描裝置松動故障排除（第21頁） | ||||
界面 | DRIVE-CLiQ | Fanuc串行接口/αi接口 | 三菱高速接口 | |
訂購名稱 | DQ01 | Fanuc05 | Mit03-04 | |
測量步驟 At ±3 µm At ±5 µm |
0.001 µm 0.010 µm | αI接口/α接口 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm |
0.001 µm 0.010 µm | |
時鐘頻率（計算時間TCAL） | – | |||
電氣連接 | 分離可在兩側(cè)連接到安裝塊的適配器電纜（1 m/3 m/6 m/9 m） | |||
電纜長度 | ≤ 30 m2) | ≤ 50 m | ≤ 30 m | |
電壓供應 | DC 10 V to 28.8 V | DC 3.6 V to 14 V | ||
功耗（大） | 10 V: ≤ 1.5 W; 28.8 V: ≤ 1.7 W | 3.6 V: ≤ 1.1 W; 14 V: ≤ 1.3 W | ||
橫移速度 | ≤ 180 m/min (max. acceleration ≤ 100 m/s2) | |||
所需移動力 | ≤ 4 N | |||
振動55赫茲至2000赫茲 沖擊11毫秒 | 外殼：≤200 m/s2（EN 60 068-2-6） 掃描單元：≤200 m/s2（EN 60 068-2-6） ≤300 m/s2（EN 60 068-2-27） | |||
工作溫度 | 0 °C to 50 °C | |||
保護EN 60 5293） | 當根據(jù)手冊說明安裝時，防護等級為IP53，防護等級為IP64，密封空氣來自DA 400。 | |||
質(zhì)量 | 0.55 kg+2.9 kg/m測量長度 | |||
*訂購時請選擇 1）位置值比較后，后續(xù)電子設備中可能會出現(xiàn)進一步的公差（聯(lián)系后續(xù)電子設備的制造商） 2）根據(jù)要求延長電纜長度 3）在應用中，LC必須防止顆粒和液體侵入。 | ||||
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
